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Der Diffusionsofen ist mit wassergekühlten INOTHERM Heizkassetten bestückt. Somit entfällt jede von Lüftersystemen und Wärmetauschern ausgehende Staubentwicklung. Die thermische Belastung des Cleanrooms wird auf ein Mindestmaß reduziert. Standardmäßige 5-Zonen-Temperaturregelung, sowie ein ausgereiftes Autoprofilingsystem gewährleisten hohe Temperaturstabilität, Reproduzierbarkeit und große Plateaulängen. Je Heizzone ist ein separates Übertemperatursystem (Thermoelement und Grenzwertmelder) integriert. Der INOTHERM-Diffusionsofen wird mit Heizkassetten für 4″, 5″, 6“, bzw. 8″-Wafer geliefert. Andere Dimensionen sind auf Anforderung ebenfalls erhältlich.

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Diffusionsöfen
II

Inotherm Industriewärmegeräte GmbH

Hauptstrasse 22-24, Hohenlinden 85664
Deutschland
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