Vorvakuumverbindungen

Vorvakuum-Verbindungen werden nicht vorrangig beheizt, um ein Verblocken des Leitungsquerschnitts zu verhindern. Es zielt hier die Beheizung im Wesentlichen darauf ab, das Ausbilden dünner Abscheidungsschichten an der Rohrinnenwand zu unterdrücken. Aus diesen Abscheidungen lösen sich, insbesondere bei Lastwechseln während des Evakuierens, kleinste Teilchen (Flitter). Diese verteilen sich selbst entgegen einer leichten Sperrgasströmung in der gesamten Vorvakuumleitung und gelangen relativ schnell auch bis an die Prozesskammer, wo sie zu einem Ansteigen des Partikelniveaus führen können. Ein sorgfältiges Temperaturmanagement kann derartige Abscheidungen und die damit entstehenden Partikelprobleme, so, wie nachfolgend illustriert, erheblich reduzieren.