Beheizung von Hochleistungspumpständen

Durch hochentwickelte Systeme zur hermischen Konditionierung können die Zuverlässigkeit der UHV-Installationen und ungeplante Stillstandzeiten deutlich verbessert werden. Nicht nur in Forschung und Entwicklung, sondern auch in hochkomplexen Fertigungsteilschritten wie MBE oder Spektroskopie werden Ultrahochvakuumanlagen eingesetzt, deren Leistungsfähigkeit entscheidend vom Einhalten sauberer Vakuumbedingungen abhängt. Die Befähigung, den Restgasdruck ohne großen Zeitverlust in den Bereich von 10-10 mbar und darunter zu bringen, ist eine wesentliche Aufgabenstellung. Dabei ist es von Vorteil, ein Heizsystem einzusetzen, dass flexibel konstruiert ist und den Oberflächen der Komponenten exakt folgt, um in direktem Wärmekontakt zu diesen zu verbleiben. Mit maßgefertigten HEMI-Heizmanschetten lassen sich diese Ziele auch für komplizierteste Formteile erfüllen. Ein hochqualitatives Ausheizsystem wird darüber hinaus ein komplettes Umschließen aller Bereiche der wesentlichen Komponente ermöglichen, da ansonsten kältere Flächenabschnitte entstehen, welche nicht effektiv zur Desorption gebracht werden können.